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 Real-Time In Situ Parallel Detection of Elements and Molecules with TOFMS during ALD for Chemical Quality Control of Thin Films 薄膜化学质量控制ALD过程中元素和分子的实时原位平行检测
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期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Agnieszka Priebe; Bryan Dousse; Chia-Yu Tzou; Georgios Z. Papadopoulos; Ivo Utke; et al 出版日期：2022-01-25 |
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