| 标题 |
Application of 1D ResNet for Multivariate Fault Detection on Semiconductor Manufacturing Equipment 相关领域
半导体器件制造
计算机科学
过程(计算)
薄脆饼
卷积神经网络
可靠性工程
故障检测与隔离
断层(地质)
晶圆制造
人工智能
数据挖掘
工程类
电气工程
地质学
操作系统
地震学
执行机构
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Sensors 作者:Philip Tchatchoua; Guillaume Graton; Mustapha Ouladsine; Jean-François Christaud 出版日期:2023-11-10 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)