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标题
Study on CF4/O2 plasma resistance of O-ring elastomer materials
相关领域
弹性体 材料科学 等离子体 离子 复合材料 等离子体参数 朗缪尔探针 分析化学（期刊） 化学 等离子体诊断 色谱法 物理 有机化学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1116/1.5124533
DOI
10.1116/1.5124533 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Tetsuya Goto; Shogo Obara; Tomoya Shimizu; Tsuyoshi Inagaki; Yasuyuki Shirai; et al
出版日期：2019-12-26
求助人
Godzilla 在 2026-02-28 21:19:25 发布自贵州，悬赏 10 积分
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