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 Sputter Deposition and Characterization of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O₃–PbTiO₃ Epitaxial Thin Film on Si Toward Giant-Piezoelectric Thin Film for MEMS Actuator Application Si上Sm掺杂Pb(Mg1/3,Nb2/3)O₃-PbTiO₃外延薄膜的溅射沉积及表征
相关领域
薄膜
材料科学
压电
微电子机械系统
溅射
兴奋剂
外延
光电子学
溅射沉积
复合材料
纳米技术
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 作者：Xuanmeng Qi; Shinya Yoshida; Shuji Tanaka 出版日期：2022-03-08 |
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