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标题
Deposition of molybdenum thin films by an alternate supply of MoCl5 and Zn
MoCl5和Zn交替供应沉积钼薄膜
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网址
https://doi.org/10.1116/1.581430
DOI
10.1116/1.581430 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Marika Juppo; Marko Vehkamäki; Mikko Ritala; Markku Leskelä
出版日期：1998-09-01
求助人
okiya 在 2025-11-22 10:15:27 发布自天津，悬赏 10 积分
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