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 Deposition of molybdenum thin films by an alternate supply of MoCl5 and Zn MoCl5和Zn交替供应沉积钼薄膜
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Marika Juppo; Marko Vehkamäki; Mikko Ritala; Markku Leskelä 出版日期：1998-09-01 |
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