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标题
A ScAlN-based piezoelectric breathing mode dual-ring resonator with high temperature stability
基于ScAlN的高温稳定性压电呼吸模式双环谐振器
相关领域
谐振器 材料科学 光电子学 硅 螺旋谐振腔 插入损耗
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2024.112144
DOI
10.1016/j.mee.2024.112144 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Zhaoyang Lu; Longlong Li; Wen Chen; Yuhao Xiao; Weilong You; et al
出版日期：2024-02-01
求助人
研友_n0DR7n 在 2025-12-06 10:28:09 发布自江苏，悬赏 10 积分
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