Importance of substrate rotation speed on the growth of homogeneous ZnO thin films by reactive sputtering

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标题	Importance of substrate rotation speed on the growth of homogeneous ZnO thin films by reactive sputtering 衬底转速对反应溅射生长均质ZnO薄膜的重要性相关领域材料科学溅射基质（水族馆）旋转（数学）薄膜苏打石灰玻璃透射率转速同种类的沉积（地质）复合材料光学光电子学纳米技术几何学古生物学生物地质学物理海洋学热力学量子力学数学沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.matlet.2016.01.088
DOI	10.1016/j.matlet.2016.01.088 doi
求助人	安详的若云在 2025-11-23 11:03:08 发布自天津，悬赏 10 积分
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