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[高分]
Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>, SiC, Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>/Cu Bonding with Utilizing Mo Metallization of Ceramics by means of Ion Beam Dynamic Mixing Si3N4、SiC、Al2O3/Cu结合陶瓷的Mo金属化
相关领域
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期刊:Journal of the Japan Institute of Metals and Materials 作者:M. Matsuura; Nakaya Chida; Haruko Fujinuma 出版日期:1992-01-01 |
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