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OES-based control methodology for process optimization of WOx electrochromic coatings deposited by reactive magnetron sputtering 基于OSS的反应性磁溅镀WOx电致变色涂层工艺优化控制方法
相关领域
电致变色
材料科学
溅射
溅射沉积
腔磁控管
光电子学
过程(计算)
纳米技术
计算机科学
薄膜
化学
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物理化学
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期刊:Surface and Coatings Technology 作者:Omar Hernández-Rodríguez; Guillermo Guzmán; Rocío Ortiz; Ester Zuza; V. Bellido‐Gonzalez; et al 出版日期:2025-05-01 |
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