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 OES-based control methodology for process optimization of WOx electrochromic coatings deposited by reactive magnetron sputtering 基于OSS的反应性磁溅镀WOx电致变色涂层工艺优化控制方法
相关领域
电致变色
材料科学
溅射
溅射沉积
腔磁控管
光电子学
过程（计算）
纳米技术
计算机科学
薄膜
化学
电极
物理化学
操作系统
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Omar Hernández-Rodríguez; Guillermo Guzmán; Rocío Ortiz; Ester Zuza; V. Bellido‐Gonzalez; et al 出版日期：2025-05-01 |
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