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 Evolution of hard carbon layers on Ti-45Al-2Nb-2Mn-1B by plasma enhanced chemical vapor deposition of hydrocarbons and hydrogen 碳氢化合物和氢气等离子体增强化学气相沉积Ti-45Al-2Nb-2Mn-1B硬碳层的演变
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Ahmad Reza Rastkar; Mehdi Sadri Kandjani 出版日期：2024-05-01 |
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