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标题
Atomic layer deposition of selective SiO2 thin films using silane self-assembled monolayers on silicon versus amorphous carbon
硅与非晶碳上硅烷自组装单层选择性SiO2薄膜的原子层沉积
相关领域
材料科学 硅烷 单层 图层(电子) 原子层沉积 碳纤维 化学工程 薄膜 沉积(地质) 非晶硅 自组装单层膜 纳米技术 无定形碳 无定形固体 碳膜 原子层外延 复合材料 光电子学 有机化学 晶体硅 化学 复合数 古生物学 沉积物 工程类 生物
网址
DOI
10.1016/j.matlet.2025.138749 doi
其它 期刊:Materials Letters
作者:Seo-Hyun Lee; Jeong‐Min Lee; Jiwoo Oh; Jieun Oh; Mi Kyung Kwon; et al
出版日期:2025-05-14
求助人
慕容铭 在 2025-07-11 13:24:03 发布自河南,悬赏 10 积分
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