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![]() 硅与非晶碳上硅烷自组装单层选择性SiO2薄膜的原子层沉积
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期刊:Materials Letters 作者:Seo-Hyun Lee; Jeong‐Min Lee; Jiwoo Oh; Jieun Oh; Mi Kyung Kwon; et al 出版日期:2025-05-14 |
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