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标题
Core–Shell Structured Silica Nanoparticles as Abrasive for Tungsten Chemical Mechanical Planarization
核壳结构二氧化硅纳米粒子作为钨化学机械平坦化磨料
相关领域
化学机械平面化 材料科学 钨 磨料 芯（光纤） 纳米颗粒 冶金 复合材料 壳体（结构） 纳米技术 抛光
网址
https://doi.org/10.1007/s11249-024-01931-8
DOI
10.1007/s11249-024-01931-8 doi
其它 期刊：Tribology Letters
作者：Deng Pan; Gaoyuan Ren; Jingwei Zhang; Xiangyu Liu; Shudong Wang
出版日期：2024-11-26
求助人
悉尼的夜景 在 2025-05-07 09:44:54 发布自天津，悬赏 10 积分
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