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 High-Resolution Lithographic Patterning with Organotin Films: Role of CO2 in Differential Dissolution Rates 有机锡薄膜的高分辨率光刻图案：CO2在不同溶解速率中的作用
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Nizan Kenane; Douglas A. Keszler 出版日期：2021-04-16 |
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