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 Role of a surface hydroxyl group depending on growth temperature in atomic layer deposition of ternary oxides 表面羟基在三元氧化物原子层沉积中的作用
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：S.H. Lee; Seunggi Seo; Woo‐Jae Lee; Wontae Noh; Sun‐Hong Kwon; et al 出版日期：2023-10-04 |
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