Deposition of polysilicon as an example of a pyrolytic CVD process

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标题	Deposition of polysilicon as an example of a pyrolytic CVD process
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0022024880...
DOI	10.1016/0022-0248(80)90129-3 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：J. Korec 出版日期：1980-07-01
求助人	合适太清在 2026-08-04 20:39:45 发布自山西，悬赏 10 积分
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