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标题
Atomistic bonding and nanoscale separation mechanisms of plasma-activated and hydrated SiCN/SiCN dielectric interfaces for hybrid bonding
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI
10.1016/j.apsusc.2026.167960 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Dan Li; Zhiqiang Tian; Wenlan Zhou; Chang Ge; Xintong Wang; et al
出版日期：2026-07-25
求助人
lmh 在 2026-07-30 11:11:11 发布自上海，悬赏 10 积分
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