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标题
Multiscale coupled plasma–feature simulation for 3D profile evolution in Si etching under HBr/Cl2 mixture plasmas
网址
http://dx.doi.org/10.1063/5.0333544
DOI
10.1063/5.0333544 doi
其它 期刊：Physics of Plasmas
作者：Yeong Geun Yook; Sang Young Chung; Hae Sung You; Jae Hyeong Park; Won Seok Chang; et al
出版日期：2026-08-01
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核桃 在 2026-08-28 15:06:26 发布自湖北，悬赏 10 积分
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