5nm CMOS Production Technology Platform featuring full-fledged EUV, and High Mobility Channel FinFETs with densest 0.021µm2 SRAM cells for Mobile SoC and High Performance Computing Applications

已完结

文献求助详情

标题	5nm CMOS Production Technology Platform featuring full-fledged EUV, and High Mobility Channel FinFETs with densest 0.021µm2 SRAM cells for Mobile SoC and High Performance Computing Applications
网址	http://dx.doi.org/10.1109/iedm19573.2019.8993577
DOI	10.1109/iedm19573.2019.8993577 doi
求助人	纯真的山兰在 2026-08-17 19:08:06 发布自湖南，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

American Society for Testing and Materials (ASTM)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 大意的鹭洋完成签到，获得积分20

19秒前; qiu完成签到，获得积分10

21秒前; CodeCraft上传了应助文件

22秒前; 大意的鹭洋发布了新的文献求助10

26秒前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

26秒前; 小马走日_完成签到，获得积分10

27秒前; 研友_nxw2xL完成签到，获得积分0

28秒前; 小肖同学完成签到，获得积分10

29秒前; wanci的应助被科研通管家采纳，获得10

34秒前; 小马走日_发布了新的文献求助10

37秒前; 大气钧完成签到，获得积分10

41秒前; Andy完成签到，获得积分10

43秒前; 万能图书馆上传了应助文件

1分钟前; xL发布了新的文献求助10

1分钟前; JamesPei的应助被xL采纳，获得10

1分钟前; 上官若男上传了应助文件

1分钟前; 小巧的傲晴完成签到，获得积分10

1分钟前; cool_随风发布了新的文献求助10

1分钟前; Marciu33完成签到，获得积分10

1分钟前; Ekko完成签到，获得积分20

1分钟前; 打打的应助被Marciu33采纳，获得10

1分钟前; bkagyin上传了应助文件

1分钟前; 大个的应助被Ekko采纳，获得30

1分钟前; 烟花上传了应助文件

1分钟前; doudou发布了新的文献求助10

1分钟前; 可爱的白猫发布了新的文献求助10

1分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

1分钟前; 可爱的白猫完成签到，获得积分20

1分钟前; Orange的应助被Shelley采纳，获得10

2分钟前; 桐桐的应助被ssmffryjj888采纳，获得10

2分钟前; Orange上传了应助文件

2分钟前; doudou完成签到，获得积分10

2分钟前; aziridine发布了新的文献求助10

2分钟前; Shelley发布了新的文献求助10

2分钟前; 美满的菠萝完成签到，获得积分10

2分钟前; 桐桐上传了应助文件

2分钟前; Shelley完成签到，获得积分20

2分钟前; 大个上传了应助文件

2分钟前; ssmffryjj888发布了新的文献求助10

2分钟前; 称心的忆山完成签到，获得积分10

2分钟前