Fluorocarbon (C4F8) assisted plasma-enhanced atomic layer etching of SiO2 with high repeatability of cycles in industrial ICP reactor. II. Simulation

已完结

文献求助详情

标题	Fluorocarbon (C4F8) assisted plasma-enhanced atomic layer etching of SiO2 with high repeatability of cycles in industrial ICP reactor. II. Simulation
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00051...
DOI	10.1116/6.0005124 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Olga Proshina; A. Kropotkin; Dmitry Voloshin; T. Rakhimova; A. Rakhimov 出版日期：2026-02-25
求助人	hustliuxiao 在 2026-07-09 13:20:18 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 王叮叮发布了新的文献求助10

1秒前; 王王完成签到，获得积分20

1秒前; 沉静傲霜发布了新的文献求助10

1秒前; 简单嚓茶发布了新的文献求助10

2秒前; 星辰大海上传了应助文件

2秒前; AN发布了新的文献求助10

2秒前; 清羽完成签到，获得积分10

2秒前; orixero上传了应助文件

3秒前; 王王发布了新的文献求助10

3秒前; liang完成签到，获得积分10

3秒前; cdercder的应助被忧心的翎采纳，获得10

4秒前; 传奇3的应助被长心采纳，获得10

4秒前; lll发布了新的文献求助10

4秒前; 隐形曼青上传了应助文件

4秒前; gggx完成签到，获得积分10

4秒前; 迟小嘉关闭了迟小嘉的文献求助

4秒前; 王王发布了新的文献求助10

6秒前; 传奇3的应助被zhn采纳，获得10

7秒前; cdercder上传了应助文件

8秒前; 冷傲的冬卉发布了新的文献求助10

8秒前; Jamal完成签到，获得积分10

8秒前; 蓝天上传了应助文件

8秒前; SCI来完成签到，获得积分10

9秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

9秒前; nyh发布了新的文献求助10

9秒前; tt大耳朵发布了新的文献求助10

10秒前; Lucas的应助被Negroni采纳，获得10

11秒前; KDS关闭了KDS的文献求助

11秒前; 隐形曼青的应助被南宫誉采纳，获得10

11秒前; 李健上传了应助文件

11秒前; 小孙完成签到，获得积分10

11秒前; ding的应助被尊敬代容采纳，获得10

12秒前; 六书院完成签到，获得积分10

12秒前; 雾仁完成签到，获得积分10

12秒前; xixixi完成签到，获得积分10

12秒前; 天天快乐上传了应助文件

14秒前; 科研通AI6.2的应助被bcewb采纳，获得10

14秒前; 无花果的应助被天大青年采纳，获得10

16秒前; steiner完成签到，获得积分10

16秒前; 晴天完成签到，获得积分20

16秒前