Microscopic removal mechanism of 4 H-SiC during abrasive scratching in aqueous H2O2 and H2O: Insights from ReaxFF molecular dynamics

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标题	Microscopic removal mechanism of 4 H-SiC during abrasive scratching in aqueous H2O2 and H2O: Insights from ReaxFF molecular dynamics
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0301679X2...
DOI	10.1016/j.triboint.2024.110109 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Xinxing Ban; Shaodong Zheng; Zhuangzhi Tian; Jianhui Zhu; Wenlan Ba; et al 出版日期：2024-01-01
求助人	CMP 在 2026-07-06 11:41:00 发布自重庆，悬赏 10 积分
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