Conversion of single crystal Si(100) to SiC film by C2H2

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标题	Conversion of single crystal Si(100) to SiC film by C2H2
网址	https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/c...
DOI	10.1557/jmr.1993.0535 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：Chien C. Chiu; Seshu B. Desu 出版日期：2007-09-27
求助人	甜甜映菡在 2026-04-28 22:27:59 发布自山东，悬赏 10 积分
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