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标题
Effect of the substrate on structure and properties of titanium nitride films grown by plasma enhanced atomic layer deposition
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.5109717
DOI
10.1116/1.5109717 doi
其它 Journal of Vacuum Science & Technology A 37, 060905 (2019)
求助人
zaaa 在 2026-03-08 23:36:58 发布自中国，悬赏 10 积分
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