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 Matching parameter estimation for high power Inductively coupled plasma sources using Machine learning techniques 相关领域
感应耦合等离子体
计算机科学
功率（物理）
等离子体
匹配（统计）
电感耦合等离子体质谱法
核工程
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质谱法
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期刊：Fusion Engineering and Design 作者：Himanshu Tyagi; Meenakshi Joshi; M. Bandyopadhyay; M.J. Singh; Kaushal Pandya; et al 出版日期：2024-10-18 |
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