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标题
Mechanistic Details of Atomic Layer Deposition (ALD) Processes
相关领域
原子层沉积 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 纳米技术 化学工程 地质学 沉积物 工程类 古生物学
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.51.1063
DOI
10.3938/jkps.51.1063 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：Mingde Xu; Hugo Tiznado; Byung-Chang Kang; Menno Bouman; Ilkeun Lee; et al
出版日期：2007-09-15
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俏皮的绮琴 在 2025-10-29 15:30:34 发布自陕西，悬赏 10 积分
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