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Conversion of Shockley partial dislocation pairs from unexpandable to expandable combinations after epitaxial growth of 4H-SiC 4H-SiC外延生长后Shockley部分位错对由不可膨胀组合向可膨胀组合的转化
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Johji Nishio; Chiharu Ota; Ryosuke Iijima 出版日期:2021-08-19 |
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