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标题
EFFECT OF INTERELECTRODE SPACE ON PROPERTIES OF SIH4/H2 DEPOSITION DISCHARGES OPERATING AT DIFFERENT RADIO FREQUENCIES
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网址
https://doi.org/10.1615/hightempmatproc.v15.i2.50
DOI
10.1615/hightempmatproc.v15.i2.50 doi
其它 期刊：High Temperature Material Processes An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes
作者：E. Amanatides; D. Mataras; D. Rapakoulias
出版日期：2011-01-01
求助人
赵辉 在 2025-10-27 21:32:54 发布自山东，悬赏 30 积分
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