发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
[高分] Chemical Mechanical Polishing: A Selective Review of R&D Trends in Abrasive Particle Behaviors and Wafer Materials
化学机械抛光：磨粒行为和晶圆材料研发趋势选择性综述
相关领域
抛光 磨料 化学机械平面化 材料科学 粒子（生态学） 冶金 薄脆饼 复合材料 纳米技术 海洋学 地质学
网址
http://koreascience.or.kr/article/JAKO201932964975120.page
AI链接 or.krdoi.org
DOI
10.9725/kts.2019.35.5.274 doi
其它 期刊：Tribology and Lubricants
作者：Hyunseop Lee; In-Ha Sung
出版日期：2019-01-01
求助人
漂亮的山菡 在 2025-10-13 05:39:20 发布自贵州，悬赏 150 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Planarization machining of sapphire wafers with boron carbide and colloidal silica as abrasives
  2. Chemi-Mechanical Polishing of On-Axis Semi-Insulating SiC Substrates
  3. Preparation of SiC/SiO2 Hard Core–Soft Shell Abrasive and Its CMP Behavior on Sapphire Substrate
  4. A Review on the CMP of SiC and Sapphire Wafers
  5. A Study on the Polishing Mechanism of Silicon Carbide (SiC) Optic Surface
  6. The Development of AC Electric Field Assisted Polishing for Silicon Carbide Substrates with Control ...
  7. Novel reactive chemical mechanical polishing technology for fabrication of SiC mirrors
  8. <title>Polishing of CVD diamond films with abrasive liquidjets: an exploratoryinvestigation</title>
  9. Research on Chemical Mechanical Polishing for Silicon Nitride Ceramics
  10. An abrasive material based on silicon nitride for grinding unhardened steels
  11. A Survey of the Machining Characteristics and Mechanical Polishing Technology of CVD Diamond Films
  12. Study on the Polishing Mechanism of Silicon Carbide Optical Surface
  13. Characteristics of abrasive jet machining of silicon nitride ceramics
  14. Investigation of grinding or mechanical polishing surface of 4H-SiC substrate
  15. TRIBOLOGICAL ASPECTS OF DIAMOND-ABRASIVE PROCESSING OF SILICON CARBIDE PLATES
  16. Research on the Polishing of Single Crystal Diamond
  17. Mechanical and Chemically-assisted Mechanical Polishing of CVD Diamond Film
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 4小时前

    GingerF GingerF Lv1154 上传了文件

    待审核 Chemical Mechanical Polishing_ A Selective Review of R&D Trends in Abrasive Particle Behaviors and Wafer Materials.pdf (2.32 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 4小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    05:39:25 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    05:39:21 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    05:39:20 已向机器人发送请求

  • 4小时前

    漂亮的山菡 漂亮的山菡 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
321完成签到，获得积分10
刚刚
aliderichang完成签到 ，获得积分10
1秒前
周七七完成签到，获得积分10
1秒前
研友_V8Qmr8完成签到，获得积分10
2秒前
共享精神的应助被羊小受采纳，获得10
2秒前
坦率水香完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
Ttimer完成签到，获得积分10
2秒前
3秒前
咕咕发布了新的文献求助10
3秒前
高兴断秋完成签到，获得积分10
3秒前
文光完成签到，获得积分10
3秒前
科研通AI6的应助被susu采纳，获得30
3秒前
美年达发布了新的文献求助10
4秒前
踏实的惋庭完成签到，获得积分10
4秒前
Aoibision关注了科研通微信公众号
4秒前
5秒前
晓晓来了完成签到，获得积分10
5秒前
菠萝冰完成签到，获得积分10
5秒前
小宁同学发布了新的文献求助10
6秒前
曹建睿完成签到 ，获得积分10
6秒前
orixero的应助被weijie采纳，获得10
6秒前
6秒前
1111完成签到，获得积分10
7秒前
JamesPei的应助被vv采纳，获得10
7秒前
全都不会做完成签到，获得积分10
7秒前
jesi完成签到，获得积分10
7秒前
Zzz完成签到，获得积分10
7秒前
唐春明完成签到，获得积分10
8秒前
17876581310完成签到 ，获得积分20
8秒前
老实的半山完成签到，获得积分10
8秒前
8秒前
9秒前
小马完成签到，获得积分20
9秒前
9秒前
少堂完成签到，获得积分10
9秒前
9秒前
10秒前
10秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Zur lokalen Geoidbestimmung aus terrestrischen Messungen vertikaler Schweregradienten 1000
Schifanoia : notizie dell'istituto di studi rinascimentali di Ferrara : 66/67, 1/2, 2024 1000
Circulating tumor DNA from blood and cerebrospinal fluid in DLBCL: simultaneous evaluation of mutations, IG rearrangement, and IG clonality 500
Food Microbiology - An Introduction (5th Edition) 500
Architectural Corrosion and Critical Infrastructure 400
Laboratory Animal Technician TRAINING MANUAL WORKBOOK 2012 edtion 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4860451
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4155356
关于积分的说明 12878944
捐赠科研通 3906800
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2146303
邀请新用户注册赠送积分活动 1165278
关于科研通互助平台的介绍 1067466
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通