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Chemical Mechanical Polishing: A Selective Review of R&D Trends in Abrasive Particle Behaviors and Wafer Materials

抛光 磨料 化学机械平面化 材料科学 粒子(生态学) 冶金 薄脆饼 复合材料 纳米技术 海洋学 地质学
作者
Hyunseop Lee,In-Ha Sung
出处
期刊:Tribology and Lubricants 卷期号:35 (5): 274-285 被引量:6
标识
DOI:10.9725/kts.2019.35.5.274
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