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标题
Selective Nickel Platinum Removal without Titanium Nitride Metal Gate Corrosion
无氮化钛金属栅极腐蚀的选择性镍铂去除
相关领域
材料科学 锡 王水 氮化钛 金属 合金 氮化物 镍 腐蚀 金属浇口 冶金 硅化物 钛 纳米技术 硅 栅氧化层 晶体管 电气工程 图层（电子） 电压 工程类
网址
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.314.289
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.314.289 doi
其它 期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena
作者：Philippe Garnier; Marine Audouin; Christian Pizzetti; V. Loup; Laurence Gabette; et al
出版日期：2021-02-01
求助人
自由天空 在 2025-05-18 14:26:07 发布自湖北，悬赏 30 积分
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