The influence of sputter conditions on the properties of LiPON and its interfaces

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标题	The influence of sputter conditions on the properties of LiPON and its interfaces 溅射条件对LiPON及其界面性能的影响相关领域溅射电解质阴极锂（药物）基质（水族馆）材料科学溅射沉积分析化学（期刊）电导率阳极离子电导率电化学化学工程化学纳米技术薄膜工程类电极色谱法医学海洋学物理化学内分泌学地质学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jpowsour.2018.05.023
DOI	10.1016/j.jpowsour.2018.05.023 doi
其它	期刊：Journal of Power Sources 作者：Yaser Hamedi Jouybari; Frank Berkemeier; Andreas Schäfer; Guido Schmitz 出版日期：2018-08-01
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