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标题
Advanced Wafer Drying Technology for 1x Node and Beyond Using Surface Modification Method
使用表面改性方法的1x节点及以上的先进晶圆干燥技术
相关领域
单层 薄脆饼 表面张力 节点（物理） 材料科学 接触角 干洗 纳米技术 复合材料 工程类 物理 结构工程 热力学 废物管理
网址
https://doi.org/10.1149/05806.0191ecst
DOI
10.1149/05806.0191ecst doi
其它 期刊：ECS Transactions
作者：Tsukasa Watanabe; Takayuki Toshima; Mitsunori Nakamori; Keisuke Egashira; Yasuyuki Ido; et al
出版日期：2013-08-31
求助人
闻道者 在 2025-07-01 16:06:08 发布自湖北，悬赏 10 积分
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  • 16小时前

    热心市民小红花 热心市民小红花 Lv12 上传了文件

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  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

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  • 1天前

    闻道者 闻道者 Lv1 求助人 发起了本次求助

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