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 Synthesis of high conformalty Ti-Six-N films using (CH3)3CCl and SiH4; density functional theory simulation and film characterization 利用(CH3)3CCl和SiH4合成高保形Ti-Six-N薄膜；密度泛函理论模拟与薄膜表征
相关领域
表征（材料科学）
密度泛函理论
材料科学
薄膜
纳米技术
化学工程
化学
计算化学
工程类
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| 其它 |
期刊：Thin Solid Films 作者：Jin-Ho Jeon; Hongsoo PARK; Dae-Hong Ko 出版日期：2024-06-28 |
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