Chemical vapour deposition tungsten film growth studied by in situ growth stress measurements

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标题	Chemical vapour deposition tungsten film growth studied by in situ growth stress measurements
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0040609093...
DOI	10.1016/0040-6090(93)90579-e doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：G.J. Leusink; T.G.M. Oosterlaken; G.C.A.M. Janssen; S. Redelaar 出版日期：2002-10-18
求助人	friendlyfwf 在 2026-11-03 00:06:02 发布自广东，悬赏 10 积分
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