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标题
Development for high-aspect-ratio hole etching with hydrogen fluoride gas based cryogenic process
基于氟化氢气体的高纵横比孔刻蚀工艺的发展
网址
https://doi.org/10.1116/6.0005035
DOI
10.1116/6.0005035 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Ryutaro Suda; Masahiko Yokoi; Du Zhang; Yu-Hao Tsai; Maju Tomura; et al
出版日期：2025-12-01
求助人
JZAUA 在 2025-12-31 13:15:24 发布自湖北，悬赏 10 积分
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