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Effects of film thickness and annealing temperature on the properties of molybdenum carbide films prepared using pulsed direct-current magnetron sputtering
膜厚和退火温度对脉冲直流磁控溅射碳化钼薄膜性能的影响
相关领域
材料科学 无定形固体 单斜晶系 退火(玻璃) X射线光电子能谱 溅射沉积 分析化学(期刊) 溅射 碳化物 薄膜 结晶学 晶体结构 化学工程 冶金 纳米技术 化学 色谱法 工程类
网址
DOI
10.1088/2053-1591/ac513e doi
其它 期刊:Materials Research Express
作者:Zhenqing Wu; Jiaoling Zhao; Meiping Zhu; Sheng Guo; Tianbao Liu; et al
出版日期:2022-02-01
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