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 Advanced two-objective optimization of thickness and large-area homogeneity of ZnO ultrathin films deposited by atomic layer deposition 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Jonathan Montalvo‐Urquizo; Dalia Alejandra Mazón‐Montijo; Axel Agustín Ortíz-Atondo; Ana Luisa Martínez García; María Isabel Mendivil Palma; et al 出版日期：2023-11-09 |
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