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Optimization of Contact Resistance and DC Characteristics for AlGaN/GaN HEMTs Utilizing Sub-10 nm Nanohole Etching 相关领域
材料科学
蚀刻(微加工)
光电子学
接触电阻
纳米技术
图层(电子)
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期刊:Electronics 作者:Hsin‐Jung Lee; Cheng-Che Lee; Hong-Ru Pan; Chieh-Hsiung Kuan 出版日期:2024-06-25 |
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