High resolution and high density ion beam lithography employing HSQ resist

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标题	High resolution and high density ion beam lithography employing HSQ resist
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2012.04.033
DOI	10.1016/j.mee.2012.04.033 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：L. Bruchhaus; S. Bauerdick; L. Peto; U. Barth; A. Rudzinski; et al 出版日期：2012
求助人	Jack 在 2026-01-30 22:05:11 发布自天津，悬赏 10 积分
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