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标题
(Invited) Parylene C Based Adhesive Bonding on 6” and 8” Wafer Level for the Realization of Highly Reliable and Fully Biocompatible Microsystems
网址
https://doi.org/10.1149/09804.0055ecst
DOI
10.1149/09804.0055ecst doi
其它 期刊：ECS Transactions
作者：Franz Selbmann; Mario Baum; Christoph Meinecke; Maik Wiemer; Thomas Otto; Yvonne Joseph
出版日期：2020
求助人
archaea 在 2026-06-05 19:08:31 发布自上海，悬赏 10 积分
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