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标题
Selective wet etching of atomic layer deposited ferroelectric hafnium zirconium oxide and hafnium oxide thin films
相关领域
铪 材料科学 锆 蚀刻（微加工） 图层（电子） 原子层沉积 薄膜 氧化物 氧化锆 光电子学 纳米技术 冶金
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004562
DOI
10.1116/6.0004562 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Rushi Jani; David MacMahon; Santosh Kurinec
出版日期：2025-04-30
求助人
loywell 在 2026-04-29 14:59:57 发布自上海，悬赏 10 积分
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