| 标题 |
  III-Nitride MEMS drum resonators on flexible metal substrates 相关领域
材料科学
光电子学
薄脆饼
微电子机械系统
谐振器
异质结
蚀刻（微加工）
氮化物
微尺度化学
钝化
压力（语言学）
沉积（地质）
蓝宝石
有限元法
晶片键合
电子工程
外延
范德瓦尔斯力
超晶格
金属
轮廓仪
复合材料
弹性（材料科学）
激光器
电极
薄膜
图层（电子）
纳米技术
宽禁带半导体
压电
微型加热器
抵抗
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Ali Kassem; Rajat Gujrati; David Bourrier; Cédric Ayela; Fabrice Mathieu; et al 出版日期：2025-10-24 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Theprisoners
无极微光
DW
null
dde
Nole
云天河
DOC_XIONG
aajhajkahna
学术文献互助
aaaa
cdercder
潇洒的惋清
秋风
朴素乌龟
Kao
v0id
arniu2008
七听
xing_xing
皖公网安备34019202002308
