Sub-diffraction-limited multilayer coatings for the 03 numerical aperture micro-exposure tool for extreme ultraviolet lithography

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标题	Sub-diffraction-limited multilayer coatings for the 03 numerical aperture micro-exposure tool for extreme ultraviolet lithography
网址	https://www.osapublishing.org/viewmedia.cfm?URI=ao-46-18-373...
DOI	10.1364/ao.46.003736 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Regina Soufli; Russell M. Hudyma; Eberhard Spiller; Eric M. Gullikson; Mark A. Schmidt; et al 出版日期：2007-05-31
求助人	Maruko_0_ 在 2026-08-05 16:58:10 发布自吉林，悬赏 10 积分
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