A methodology for the kinetic Monte Carlo simulation of alumina atomic layer deposition onto silicon

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标题	A methodology for the kinetic Monte Carlo simulation of alumina atomic layer deposition onto silicon
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092702560...
DOI	10.1016/j.commatsci.2004.12.069 doi
其它	期刊：Computational Materials Science 作者：G. Mazaleyrat; A. Estève; L. Jeloaica; M. Djafari-rouhani 出版日期：2005-04-01
求助人	guchenniub 在 2026-09-17 13:40:16 发布自上海，悬赏 10 积分
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