Investigation of MEMS Single Turn Meander-Shaped Silicon Carbide Piezoresistive Pressure Sensor on a Clamped Circular Diaphragm for High Pressure Harsh Environment Applications

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标题	Investigation of MEMS Single Turn Meander-Shaped Silicon Carbide Piezoresistive Pressure Sensor on a Clamped Circular Diaphragm for High Pressure Harsh Environment Applications
网址	https://doi.org/10.1142/s0218126624500658
DOI	10.1142/s0218126624500658 doi
其它	期刊：Journal of Circuits, Systems, and Computers 作者：Dadasikandar Kanekal; Sumit Kumar Jindal 出版日期：2023-07-28
求助人	53125 在 2026-07-15 23:37:35 发布自北京，悬赏 30 积分
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