Interferometric and deflectometric flatness metrology with nanometre measurement uncertainties for optics up to 1 metre at PTB

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标题	Interferometric and deflectometric flatness metrology with nanometre measurement uncertainties for optics up to 1 metre at PTB
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.2538872 doi
其它	作者：G. Ehret, H. Reinsch, M. Schulz；期刊：SPIE 卷号：11189 出版日期：2019
求助人	king48615 在 2026-09-21 21:03:53 发布自吉林，悬赏 20 积分
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