Can optical proximity correction solution be learned? The learning limit and a general learning framework

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标题	Can optical proximity correction solution be learned? The learning limit and a general learning framework
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/journalArticle/Download?u...
DOI	10.1117/1.jmm.21.4.043203 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Xuelong Shi; Yan Yan; Chen Li; Mingyang Xia; Bingyang Pan; et al 出版日期：2022-10-01
求助人	零方向的铭在 2026-07-09 10:44:37 发布自安徽，悬赏 20 积分
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