c-axis orientation and piezoelectric coefficients of AlN thin films sputter-deposited on titanium bottom electrodes

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标题	c-axis orientation and piezoelectric coefficients of AlN thin films sputter-deposited on titanium bottom electrodes
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943321...
DOI	10.1016/j.apsusc.2012.06.086 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：A. Ababneh; M. Alsumady; H. Seidel; T. Manzaneque; J. Hernando-García; et al 出版日期：2012-10-15
求助人	rgt 在 2026-09-14 00:00:03 发布自浙江，悬赏 10 积分
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