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Toward FEOL integration of SiN waveguides into a photonic BiCMOS process |
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期刊:2023 IEEE Silicon Photonics Conference (SiPhotonics) 作者:F. Goetz; S. Lischke; G. Georgieva; A. Peczek; L. Zimmermann 出版日期:2023-04-01 |
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