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标题
Reducing wrinkles and cracks of metal films on PDMS substrate by hexane extraction and oxygen plasma etching
用己烷萃取和氧等离子体刻蚀减少PDMS衬底上金属膜的褶皱和裂纹
相关领域
聚二甲基硅氧烷 材料科学 润湿 基质(水族馆) 电极 复合材料 蚀刻(微加工) 表面光洁度 表面粗糙度 干法蚀刻 金属 萃取(化学) 己烷 光电子学 冶金 化学 色谱法 图层(电子) 物理化学 地质学 海洋学
网址
DOI
10.1016/j.mee.2014.08.007 doi
其它 期刊:Microelectronic Engineering
作者:Ying Meng; Zhen Bo Li; Xiang Chen; Jia Pin Chen
出版日期:2014-08-20
求助人
沐沐 在 2025-10-12 10:45:08 发布自江苏,悬赏 10 积分
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