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Design and fabrication of a hybrid silicon three-axial force sensor for biomechanical applications
相关领域
绝缘体上的硅 薄脆饼 剪切力 制作 材料科学 互连 线性 蚀刻(微加工) 光电子学 图层(电子) 电子工程 纳米技术 计算机科学 复合材料 工程类 医学 计算机网络 替代医学 病理
网址
DOI
10.1016/j.sna.2005.01.007 doi
其它 期刊:Sensors and Actuators A Physical
作者:Lucia Beccai; Stefano Roccella; Alberto Arena; F. Valvo; Pietro Valdastri; et al
出版日期:2005-02-08
求助人
zhu 在 2025-09-26 17:44:54 发布自北京,悬赏 10 积分
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